隨著器件架構(gòu)日趨復(fù)雜、耦合公差不斷縮小，光子集成電路（PIC）不斷創(chuàng)新，對(duì)對(duì)準(zhǔn)精度的要求也愈發(fā)嚴(yán)苛。在研發(fā)環(huán)境中，測(cè)量保真度與工程進(jìn)度取決于快速、可重復(fù)的多軸對(duì)準(zhǔn)能力，而傳統(tǒng)機(jī)械平臺(tái)在納米尺度下往往難以持續(xù)滿足這類需求。PI的NanoCube憑借6自由度壓電陶瓷運(yùn)動(dòng)、納米級(jí)精度與良好的動(dòng)態(tài)性能，克服了上述限制，可滿足新一代PIC測(cè)試與探測(cè)的需求。NanoCube采用緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)技術(shù)方案、柔性鉸鏈導(dǎo)向裝置以及成熟的PICMA促動(dòng)器技術(shù)，為臺(tái)式實(shí)驗(yàn)、高級(jí)表征工作流程以及自動(dòng)化光子探測(cè)系統(tǒng)樹(shù)立了高精度對(duì)準(zhǔn)新高度。

主要特點(diǎn)

l 緊湊型集成式6自由度對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)

l 納米級(jí)精度

l 亞秒級(jí)耦合峰值檢測(cè)

l 基于人工智能的高速搜索算法

主要技術(shù)亮點(diǎn)

l 緊湊型6軸（6自由度）平臺(tái)：小巧玲瓏，可置于掌心，適用于臺(tái)式實(shí)驗(yàn)與空間有限的研發(fā)工作站；

l 納米級(jí)分辨率的精密運(yùn)動(dòng)：500μm線性行程（X、Y、Z），3°旋轉(zhuǎn)（θX、θY、θZ）；

l 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)柔性鉸鏈導(dǎo)向裝置與成熟的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器技術(shù)，具有良好的動(dòng)態(tài)性能，為復(fù)雜、敏感的PIC樣品提供可靠保障；

l 用戶可編程虛擬樞軸點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)靈活的多軸對(duì)準(zhǔn)——即使在要求嚴(yán)苛的PIC架構(gòu)中也能勝任。

P-616.65S NanoCube六軸壓電陶瓷系統(tǒng)

產(chǎn)品描述

l PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)長(zhǎng)使用壽命

獲得專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣促動(dòng)器的十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行10億個(gè)循環(huán)。

l 零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。 其剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。其可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

l 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。所有軸均具有最小的質(zhì)量慣性并采用相同的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速、動(dòng)態(tài)且精密的運(yùn)動(dòng)。

l 可自由選擇的旋轉(zhuǎn)中心，易于操作

軟件大大簡(jiǎn)化了這一操作：可將空間中的任意點(diǎn)設(shè)為旋轉(zhuǎn)中心，平臺(tái)圍繞該中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)與傾斜。旋轉(zhuǎn)中心可自由定義、輕松調(diào)控，并能穩(wěn)固錨定于空間某點(diǎn)，或在發(fā)生線性位移時(shí)跟隨平臺(tái)移動(dòng)，隨心操作由您掌控！

P-616.65S，尺寸單位為mm。請(qǐng)注意，在圖中使用逗號(hào)代表小數(shù)點(diǎn)。

應(yīng)用領(lǐng)域

光子學(xué)/集成光學(xué)、精密光纖定位和對(duì)準(zhǔn)、光纖到光纖耦合、光纖到芯片耦合、光纖到組件耦合、光纖陣列對(duì)準(zhǔn)

產(chǎn)品規(guī)格

各個(gè)坐標(biāo)（X、Y、Z、θX、θY、θZ）的最大行程范圍是相互依存的。 當(dāng)所有其他軸都處于標(biāo)稱行程范圍的零位置并且使用默認(rèn)坐標(biāo)系時(shí)，或者更確切地說(shuō)，當(dāng)旋轉(zhuǎn)中心點(diǎn)設(shè)置為0,0,0時(shí)，每個(gè)軸的數(shù)據(jù)顯示其最大行程范圍。

因?yàn)?/span>PI壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無(wú)摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。

PI技術(shù)數(shù)據(jù)是在22±3°C環(huán)境溫度下定義的。除非有特別說(shuō)明，所有數(shù)值均基于無(wú)負(fù)載的情況。某些性能參數(shù)是相互關(guān)聯(lián)的。“typ.”標(biāo)識(shí) 是指屬性的統(tǒng)計(jì)平均值，并非承諾每個(gè)交付產(chǎn)品均達(dá)到該數(shù)值。在產(chǎn)品交付前的最后檢驗(yàn)中，我們只檢測(cè)選定的屬性，而不是全部屬性。請(qǐng)注意，產(chǎn)品的某些特性可能會(huì)隨著使用時(shí)間的增長(zhǎng)而逐漸下降。

智能固件，加速對(duì)準(zhǔn)

l 集成了PI的E-713控制器，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的同步運(yùn)動(dòng)控制

l 內(nèi)置高速例程，可自動(dòng)執(zhí)行首道光檢測(cè)、梯度搜索與多軸優(yōu)化

l 全程在固件中運(yùn)行，無(wú)需外部腳本或PC端處理

l 縮短對(duì)準(zhǔn)周期，提高研發(fā)與生產(chǎn)效率

E-713 NanoCube? 運(yùn)動(dòng)控制器，用于P-616 6D NanoCube

主要特點(diǎn)

l 用于運(yùn)行P-616 6D NanoCube

l 適合硅光子應(yīng)用

l 集成用于光纖對(duì)準(zhǔn)的掃描程序

l 高分辨率模擬輸入，用于檢測(cè)光信號(hào)

l 綜合軟件包

   產(chǎn)品描述

l 協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)

配合壓電陶瓷促動(dòng)器和應(yīng)變片傳感器，用于控制6軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)。尤其適用于P-616 6D NanoCube等系統(tǒng)。位置以直角坐標(biāo)輸入，控制器據(jù)此計(jì)算并聯(lián)機(jī)構(gòu)的控制。 旋轉(zhuǎn)中心可在空間中自由定義；

l 快速多通道光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)

控制器通過(guò)采用集成算法以及高分辨率、快速的模擬輸入，支持PI的快速多通道光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)（FMPA）技術(shù)。FMPA可對(duì)光子器件在輸入端、輸出端及各自由度上的對(duì)準(zhǔn)進(jìn)行并行優(yōu)化；

l 廣泛軟件支持

PI用戶軟件便于快速啟動(dòng)，無(wú)需編程技能，并可圖形化顯示信號(hào)和操作過(guò)程，例如FMPA例程。此外，還提供豐富的驅(qū)動(dòng)程序，例如用于C、C++、C#、Python、NI LabVIEW或MATLAB；

l 供貨范圍

發(fā)貨范圍包括控制器和軟件包。建議將并聯(lián)機(jī)構(gòu)和控制器一并訂購(gòu)，以便零部件可以相互適配。

l 應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)組件對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)晶圓測(cè)試、硅光子裝配技術(shù)。

E-713運(yùn)動(dòng)控制器：外殼尺寸單位為mm。 請(qǐng)注意，在圖中使用逗號(hào)代表小數(shù)點(diǎn)。

產(chǎn)品規(guī)格

指定的輸出通道為放大器通道。

指定的輸入通道為傳感器通道。

最大輸出功率受機(jī)箱電源和可用通道數(shù)量的限制。

對(duì)于應(yīng)變片傳感器：

-傳感器分辨率，1σ，在300Hz下：1:20000

-參考信號(hào)，每通道：5V，最大15mA